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半导体工厂空气过滤器:为什么必不可少?了解一下

现在半导体工厂对生产环境的清洁度特别批判,对空气过滤器的要求也越来越严格,在半导体工厂,半导体工厂对空气过滤器起着特别重要的作用,是必不可少的。让我们一起来理解一下。

空气中海盐颗粒是所有电子工业的大敌,但空气中海盐粉尘颗粒较大,普通过滤器可以过滤。据说从事电子工业的理想场所应该远离海岸,但是沿海地区经济发达,芯片工厂像蜂一样建在沿海地区,在过滤器上花更多的钱。

活性炭过滤器的过滤等级技术使洁净室的粉尘浓度几乎为零,想要更干净。芯片线宽小到0.5mm时,发现空气中的化学污染物成为影响成品率的主要危害,因此在线宽小于0.5mm的芯片工厂空调系统中普遍配置了精密空气过滤器。精密空气过滤器的原理和制造技术并不复杂。那是活性炭过滤器,但传统的活性炭过滤器制造商和军需工厂没有乘坐芯片工厂的巴士。芯片工厂深圳活性炭过滤器大多由空调过滤器制造商提供。

化学污染物的来源可能是:室外空气、工艺本身、人、装修材料。大多数情况下,设计师和现场工作人员不能说清污染物的种类和浓度,因此提供的化学过滤器至少应具有广谱吸附性能、足够多的活性炭材料两个特点。广谱吸附是指什么都能吸附,具有这种功能的是普通便宜的粒子活性炭。如果能确定污染物的种类,可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理,增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务,以帮助用户确定反渗透过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞化学过滤的有经验的人,并与名气大的化学实验室有密切的关系。

半导体工业并不是人们普遍认为的“无烟工业”,也就是说它也是有环境问题的,稍不小心就会造成严重的化学污染。因此,为了保险起见,半导体厂一般都会使用空气过滤器。

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